En vakuumpump är en anordning eller utrustning som använder mekaniska, fysikaliska, kemiska eller fysikaliskkemiska metoder för att evakuera en behållare och skapa ett vakuum. I enklare termer är en vakuumpump en enhet som använder olika metoder för att förbättra, generera och upprätthålla ett vakuum i ett slutet utrymme.
(1) Den har en relativt hög pumphastighet över ett brett tryckområde;
(2) Rotorn har god geometrisk symmetri, vilket resulterar i låga vibrationer och smidig drift. Det finns luckor mellan rotorerna och mellan rotorn och höljet, vilket eliminerar behovet av smörjning, minimerar friktionsförluster och minskar avsevärt drivkraften, vilket möjliggör högre hastigheter;
(3) Ingen oljetätning eller smörjning krävs inuti pumpkammaren, vilket minskar oljeångkontamination av vakuumsystemet;
(4) Det finns ingen kompressions- eller avgasventil inuti pumpkammaren. Strukturen är enkel och kompakt och den är inte känslig för damm och vattenånga i den pumpade gasen;
(5) Kompressionsförhållandet är relativt lågt, vilket resulterar i dålig pumpeffekt för väte;
(6) Rotorytan är en relativt komplex krökt cylindrisk yta, vilket gör bearbetning och inspektion svår.
